以上のように、超臨界流体を使用したプロセスは従来の
重金属や
強酸などの
触媒を使ったプロセスや
可燃性や
毒性のある
溶媒をこのプロセスに置き換えることで、環境に対する影響を低減させる特徴を持つ。また、ダイオキシンに代表される有害物質の分解にも使用可能である。そのため、
グリーンサスティナブルケミストリーの視点から注目を集めている。ただし、高温高圧の条件が必須であるため、装置は
高圧ガス保安法の適用を受ける場合が多い。また、溶解性や反応性が高いため、容器や
シールの材質にも配慮が必要である。以上の理由から、超臨界流体関係装置の容積は必ずしも高くない。