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真空ポンプ(しんくうポンプ、バキュームポンプ Vacuum pump )とは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプである。1650年にオットー・フォン・ゲーリケにより発明された。1台で超高真空から大気圧までをカバーするのは非常に困難な為、多くは粗引きポンプやメインポンプなどと組み合わせで使うが、用途によって1台で済む場合は粗引き、メインなどの呼び分けはしない。

◆ 分類

どれだけの高真空を必要とするか、また排気する気体の成分によって、使用すべき真空ポンプは異なる。真空ポンプは、構造に油を用いるウェットポンプと、油を用いないドライポンプとに大別される。一般的に、ウェットポンプは排気量、到達圧力、価格などの総合面で優れた性能を持つ油回転型真空ポンプ(ロータリーポンプ)が大きく普及している。もっとも安価であろう手押し式は、エアコンの冷媒注入用として市販されている。

ドライポンプは油汚染を嫌う用途で使用されることが多いが、吸着装置やアスピレータなどの低真空向けに安価なダイヤフラムポンプもかなり普及している。

真空ポンプの分類法としては更に容積移送式、運動量輸送式、気体溜め込み式というような分類法もある。

◇ ウェットポンプ

・ ロータリーポンプ

・ 拡散ポンプ

・ 揺動ピストン型ポンプ

・ 蒸気エゼクターポンプ

・ 水環ポンプ

◇ ドライポンプ

・ ソープションポンプ

・ ターボ分子ポンプ

・ イオンポンプ

・ ゲッターポンプ

・ クライオポンプ

・ メカニカルブースターポンプ

・ ダイヤフラムポンプ

◆ 関連項目

・ 真空

・ 真空計

・ リーク

・ 背圧

・ マグデブルグの半球、オットー・フォン・ゲーリケ

; ポンプメーカー

・ 神港精機株式会社

・ アルバック

・ 大阪真空機器製作所

・ キヤノンアネルバ

・ 島津製作所

・ 宇野澤組鐵工所

・ Highlight Tech Corp.(日揚科技)

・ Alcatel Vacuum Technology

・ 樫山工業

; 業界団体

・ 日本真空工業会

・ 日本真空協会

; 展示会

・ 真空展

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