前のページ 1/1 次のページ

エネルギー分散型X線分析(または-分散分光法、-分光法、-分光器)は、電子ビーム等で物体を走査した際に発生する特性X線を検出し、X線から得られるエネルギーの分布から物体の構成物質を調べる分析手法またはその装置。

機器そのものはEDS(Energy Dispersive x-ray Spectroscopy)またはEDX(Energy Dispersive X-ray spectroscopy)と略され、手法はEnergy dispersive X-ray spectrometryの略である。

分析元素範囲はB(ホウ素)〜U(ウラン)

特性面では数百〜数um程度の表面範囲また数umの表面深度と比較的広範囲な部分の検出に有効であり、範囲を狭めた検出にはWDS(wavelength dispersive X-ray spectrometry)波長分散型X線分析(または分光法、分光器)のほうが一般的に高分解能であるが、こちらは分析時に検出器の取り付け位置などで分析の制限を受けることがある。

エネルギー分散型X線分析装置は走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡などにオプションとして付けられることが多い。主に半導体X線検出器、冷却システム、定量分析(ソフトウェア、PC)などで構成する。

◆ 関連項目

・電磁波

・オージェ電子分光

・走査型電子顕微鏡

・透過型電子顕微鏡

・特性X線

・X線光電子分光

・電子線マイクロアナライザ

・元素分析

◆ 主な機器メーカー

・オックスフォード・インストゥルメンツ

・日立ハイテクノロジーズ

・日本電子

・セイコーインスツル

・島津製作所

◆ 外部リンク

・オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社 分析装置のページ http://www.oxinst.co.jp/An/An1.html

・日立ハイテクノロジーズ EDXのページ http://www.hitachi-hitec.com/em/ae/edx.html

・日本電子 EDSのページ http://www.jeol.co.jp/products/list/list-sem.htm

・セイコーインスツル http://www.sii.co.jp/index.html

・島津製作所 http://www.shimadzu.co.jp/surface/products/sem/index.html

前のページ 1/1 次のページ

・エネルギー分散型X線分析 page1